Alúmina Brazo robótico de cerámica para la fabricación de obleas
El brazo robótico de cerámica de alúmina diseñado específicamente para la fabricación de obleas es un componente altamente avanzado y crucial en la industria de semiconductores.
Propiedades del material
Este brazo robótico está hecho principalmente de cerámica de alúmina de alta pureza. Por lo general, la cantidad de alúmina es más del 95%. Esto le da una muy buena resistencia mecánica. Al manejar las obleas, como cuando se coloca precisamente y las mueve, puede manejar grandes tensiones y tensiones.
Su dureza de los MOHS es de aproximadamente 9. Eso significa que es realmente bueno para resistir los rasguños y ser desaparecido. Esto es realmente importante porque si hay algún daño en su superficie, podría traer contaminantes o estropear la precisión de cómo se manejan las obleas.
Las propiedades térmicas de la cerámica de alúmina también son muy importantes. Tiene un coeficiente de expansión térmica bastante bajo, alrededor de 6 - 8 × 10⁻⁶ /° C. En la fabricación de obleas, controlar la temperatura es súper crítico. Gracias a este tamaño estable, cuando cambia la temperatura, el brazo robótico puede hacer movimientos precisos y repetibles. Incluso cuando la temperatura sube y baja, el brazo puede mantener su precisión y asegurarse de que las obleas se coloquen y se muevan con el nivel más alto de precisión.
Además, tiene una buena conductividad térmica, que está entre 15 y 30 w/(m · k). Esto permite que el calor se quite de manera efectiva. Ayuda a evitar que el brazo y las partes cercanas se calienten demasiado. Si se calentaran demasiado, podría causar problemas como el mal funcionamiento o el daño a las obleas.
Otra característica importante es su excelente aislamiento eléctrico. Su resistividad de volumen es mayor que 10¹⁴ Ω · cm. En el entorno de semiconductores, la descarga electrostática y la interferencia eléctrica pueden ser realmente malas para las obleas y todo el proceso de fabricación. Pero el brazo robótico de cerámica de alúmina actúa como un escudo confiable. Hace un buen trabajo al separar las corrientes eléctricas, y esto protege a las obleas y los equipos electrónicos sensibles cercanos.
Diseño y funcionalidad
El diseño del brazo robótico está altamente optimizado para las tareas de fabricación de obleas. Cuenta con una estructura delgada y articulada que permite una amplia gama de movimientos y posicionamiento preciso. El efector final del brazo está cuidadosamente diseñado para manejar las obleas de manera suave y segura. Puede tener un mecanismo de agarre especializado, como succión al vacío o almohadillas de contacto blandas, para garantizar que las obleas no se dañen durante la transferencia.
El brazo robótico también está equipado con sistemas de control avanzados. Estos sistemas le permiten realizar movimientos complejos y altamente precisos, como la alineación de las obleas con precisión microscópica. Los algoritmos de control a menudo se ajustan para tener en cuenta los requisitos específicos de la fabricación de obleas, incluida la minimización de vibraciones y garantizar una aceleración y desaceleración sin problemas.
Aplicaciones y beneficios
En la fabricación de obleas, el brazo robótico de cerámica de alúmina se usa en varias etapas. Está involucrado en la transferencia de obleas entre diferentes estaciones de procesamiento, como desde el cassette de la oblea hasta las cámaras de deposición o las herramientas de grabado. Al proporcionar un manejo preciso y confiable, ayuda a mejorar el rendimiento general y la calidad de las obleas. Reduce el riesgo de rotura o desalineación de la oblea, lo que podría conducir a pérdidas costosas de producción.
Además, su resistencia a la corrosión química lo hace adecuado para operar en los entornos químicos hostiles a menudo presentes en las instalaciones de fabricación de obleas. Puede resistir la exposición a ácidos, álcalis y otros productos químicos utilizados en los procesos de fabricación sin deteriorarse. Esta durabilidad y confiabilidad contribuyen a la operación continua y eficiente de la línea de fabricación de obleas, mejorando en última instancia la productividad y la competitividad de los fabricantes de semiconductores.