Brazo robótico de cerámica de fabricación de semiconductores
Los brazos robóticos de cerámica de carburo de silicio en la fabricación de semiconductores son herramientas realmente avanzadas y súper importantes. Tienen muchas características sorprendentes que las hacen absolutamente necesarias en esta industria.
Son excelentes para resistir las altas temperaturas. Por lo tanto, pueden trabajar de manera constante durante los pasos de alta temperatura en la fabricación de semiconductores, como cuando se trata de crecimiento epitaxial e implantación de iones. No se deformarán ni dañan. Su resistencia química también es excepcional. Pueden manejar los productos químicos y gases corrosivos que se utilizan en el proceso de producción. Esto asegura que el entorno de fabricación permanezca puro y evite que ocurra la corrosión y la contaminación.
Cuando se trata de aplicaciones, son realmente importantes para la transferencia de obleas. Pueden recoger obleas y ponerlas en el lugar correcto entre diferentes equipos de proceso de manera precisa y constante. Eso ayuda a asegurarse de que las obleas sean de buena calidad. También se usan ampliamente en el procesamiento de precisión. Pueden controlar el movimiento y la posición de las herramientas de procesamiento con precisión, lo que cumple con los requisitos de alta precisión y estabilidad para el grabado y la litografía. Además, son buenos para entornos de sala limpia porque no emiten partículas ni liberan impurezas cuando están trabajando. Esto reduce el riesgo de que las obleas se contaminen.
Aplicaciones en fabricación de semiconductores
Transferencia de obleas : en el proceso de fabricación de semiconductores, las obleas deben transferirse entre diferentes equipos de proceso. El brazo robótico de cerámica de carburo de silicio puede recoger y colocar con precisión y colocar obleas con su alta precisión y confiabilidad, evitar la rotura y los rasguños de las obleas y garantizar la calidad de las obleas.
Procesamiento de precisión: en algunos procesos de procesamiento de precisión, como el grabado y la litografía, el brazo robótico debe tener una precisión y estabilidad extremadamente altas. El brazo robótico de cerámica de carburo de silicio puede cumplir con estos requisitos y puede controlar con precisión el movimiento y la posición de la herramienta de procesamiento para garantizar la precisión y consistencia del procesamiento.
Ambiente de sala limpia: el proceso de fabricación de semiconductores requiere un entorno de sala limpia con niveles de partículas e impurezas extremadamente bajas. Los brazos robóticos de cerámica de carburo de silicio no arrojan partículas ni liberan impurezas durante la operación, lo que ayuda a mantener la limpieza de la sala limpia y reduce el riesgo de contaminación de la oblea.
Tendencias de desarrollo futuras
Mayor precisión y velocidad: con el desarrollo continuo de la tecnología de semiconductores, los requisitos para la precisión y la velocidad de los brazos robóticos también están aumentando. Las futuras armas robóticas de cerámica de carburo de silicio continuarán mejorando en estos aspectos para satisfacer las necesidades de los procesos de fabricación de semiconductores más avanzados.
Inteligente y automatizado: la combinación de brazos robóticos de cerámica de carburo de silicio y sensores avanzados y sistemas de control los hará más inteligentes y automatizados. Podrán sentir automáticamente el entorno y las obleas, tomar decisiones y ajustes, y mejorar la eficiencia y la calidad de la producción.
Integración multifuncional: además de las funciones básicas de la transferencia y el procesamiento de la oblea, los brazos robóticos de cerámica de carburo de silicio futuros pueden integrar más funciones, como la inspección de obleas, la limpieza y el embalaje, para formar un sistema integrado multifuncional y mejorar aún más el nivel de automatización e integración de fabricación de semiconductores.